真空腔體加工注意事項

真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。

超高真空系統主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無(wú)磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點(diǎn)，在高真空和超高真空系統中，應用較廣。

為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來(lái)獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體，更多的是利用電解拋光來(lái)進(jìn)行表面處理。

焊接是真空腔體制作中最重要的環(huán)節之一。通常采用氬弧焊來(lái)完成焊接，可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應而影響焊接質(zhì)量，氬弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電極周?chē)鷩娚浔Ｗo氣體氬氣，以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應。

超高真空腔體的氬弧焊接，原則上必須采用內焊，即焊接面是在真空一側，以免存在死角而發(fā)生虛漏。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封的大氣壓在1cm2的面積上產(chǎn)生約1kgf的壓力，對直徑20cm的法蘭來(lái)講，就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體，由于構造的特殊性使得壓力分散，腔體的壁厚2～4mm就不會(huì )變形。

但是，對于方形腔體，側面的平板上要承受上噸的壓力，必須通過(guò)增加壁厚或設置加強筋，才能防止變形。